FFKM yra aukštos kokybės sandarinimo medžiaga. Dėl puikių eksploatacinių savybių jis galėjo prasiskverbti į visą puslaidininkinių gaminių gamybos sistemą. Tarp jų FFKM sandarinimo žiedai yra viena iš pagrindinių eksploatacinių medžiagų, reikalingų integrinių grandynų gamybai.
FFKM struktūra ir veikimo charakteristikos
FFKM kopolimerizuoja tetrafluoretilenas (TFE), perfluoralkilvinilo eteris (PAVE), kaip pagrindiniai monomerai, ir nedidelis kietėjimo taško monomero (CSM) kiekis. Kaip parodyta žemiau esančiame paveikslėlyje, visi polimero anglies atomai Visi vandenilio atomai ant gumos yra pakeisti fluoro atomais, todėl guma visiškai neturi CH jungčių.
Pagrindinės FFKM veikimo savybės:
1) Fizinės savybės
FFKM tankis yra 1.9-2.0g/cm³. Jo įprastos temperatūros mechaninės savybės yra artimos vinilideno fluorido (VDF) pagrindu pagaminto fluoro kaučiuko (FKM) savybėms, tačiau jo mechaninės savybės aukštoje temperatūroje yra geresnės nei fluoro kaučiuko.
2) Cheminis atsparumas
FFKM molekulinėje grandinėje nėra vandenilio atomų, o CC jungtis iš esmės supa apvalkalas, sudarytas iš F atomų, pasižymintis stipriu cheminiu inertiškumu ir todėl polimeras yra labai atsparus chemikalams.
3) Atsparumas aukštai ir žemai temperatūrai
FFKM darbinė temperatūra paprastai yra 260–290 laipsnių ir gali būti naudojama su pertrūkiais esant aukštai 316 laipsnių temperatūrai. Kadangi į molekulių šakų grandines įvedama daug -OCF3 grupių, pagerėja molekulių lankstumas ir gumos atsparumas žemai temperatūrai.
4) Atsparumas plazmai
Plazminėje aplinkoje jis pasižymi dideliu švarumu, mažu kritulių kiekiu ir ilgą laiką gali atlaikyti plazmos bombardavimą.
fFKM programos puslaidininkiuose
Puslaidininkių gamyboje elastomerinių sandariklių patikimumas yra labai svarbus, nes gamybos sustabdymas siekiant pakeisti sandariklius yra labai brangus. Siekiant išvengti galimų pavojų, plombų švaros ir grynumo reikalavimai yra labai griežti. Tuo pačiu metu sandarikliai turi veikti ilgą laiką esant aukštai temperatūrai, didelio vakuumo ir korozinių cheminių dujų slėgio aplinkoje.
Kalbant apie puslaidininkių taikymą, FFKM daugiausia dėmesio skiria:
1) Dujų sandariklis: puslaidininkių gamybos procese labai svarbu apdoroti ir transportuoti įvairias dujas. FFKM O žiedas naudojamas dujotiekių, vožtuvų ir jungčių sandarinimui, siekiant užtikrinti, kad dujos nenutekėtų ir būtų išlaikytas proceso stabilumas.
2) ėsdinimas ir valymas: puslaidininkių procesų ėsdinimo ir valymo etapai dažnai apima korozinių medžiagų, tokių kaip stiprios rūgštys ar šarmai, naudojimą. Dėl puikaus atsparumo korozijai FFKM O žiedas plačiai naudojamas įrangos dalyse, kurios liečiasi su šiomis terpėmis, pvz., ėsdinimo kamerose, valymo rezervuaruose ir kt.
3) Skysčių ir cheminių medžiagų transportavimas: puslaidininkių gamyboje reikia gabenti įvairius skysčius ir chemines medžiagas, tokias kaip tirpalai, tirpikliai, valymo skysčiai ir kt. FFKM O žiedas gali būti naudojamas įrangos komponentams, pvz., vamzdžiams, vožtuvams ir siurbliams, sandarinti. saugus žiniasklaidos pristatymas.
4) Aukštos temperatūros aplinka: tam tikri puslaidininkių proceso etapai turi būti atliekami aukštos temperatūros aplinkoje, pvz., terminis apdorojimas, atkaitinimas ir kt. FFKM O-žiedai turi puikų atsparumą aukštai temperatūrai ir gali išlaikyti savo elastingumą bei sandarumą. savybės aukštoje temperatūroje.
5) Itin grynas vandens valymas: puslaidininkių gamyboje itin grynas vanduo naudojamas įrangai ir medžiagoms valyti ir valyti. FFKM O-žiedai yra plačiai naudojami ypač grynai vandens valymo įrangai sandarinti, kad būtų išvengta priemaišų ir teršalų patekimo.
Dėl didelių FFKM gumos žaliavų kainos darbo sąlygos, kuriose dažniausiai naudojami FFKM sandarikliai, yra itin atšiaurios. Esant tokioms atšiaurioms darbo sąlygoms, kitos gumos yra linkusios į koroziją, brinkimą, tirpimą, senėjimą, kietėjimą ir pan., dėl ko sugenda sandarinimas, todėl negali atitikti sandarinimo reikalavimų. Dėl puikaus atsparumo korozijai ir aukštai temperatūrai FFKM guma gali ne tik atitikti sandarinimo reikalavimus atšiauriomis darbo sąlygomis, bet ir padidinti sandariklių tarnavimo laiką bei sumažinti klientų priežiūros išlaidas.
