Nuo 7 nm plokštelių iki pažangios pakuotės, kiekvienas naujas mazgas padidina funkcijų dydžius link fizinių ribų ir paverčia „valymą“ -vieną kartą fone-į nanometro- ar net angstrom-lygmens misiją. Tradiciniai fluorangliavandeniliai (CFC-113, PFC) yra ne-degūs ir mažai toksiški, tačiau dėl jų ozono-ardymo arba didelio GWP profilio buvo taikomi visuotiniai draudimai. Tuo tarpu vandeninės chemijos dažnai palieka vandens žymes, korozuoja metalus ir sunaudoja daug džiovinimo energijos.Hidrofluoroeteris (HFE), derinant nulinį ODP, žemą GWP, ne{0}}degumą ir nulinį likučių kiekį, greitai tapo naujuoju fab inžinieriaus mėgstamiausiu ir dabar laikomas geriausiu ekologišku aukščiausios- tikslumo valymo pakaitalu.
1. Kodėl HFE fluoro tirpiklis gali susidoroti su puslaidininkių valymu
Molekulinė inžinerija užtikrina subalansuotą veikimą
Eterio deguonis yra užfiksuotas anglies skelete, o likę valentai yra padengti vandeniliu, išsaugant cheminį inertiškumą ir mažą fluoro angliavandenilių poliškumą, kartu sumažinant šiltnamio efektą ir toksiškumą. Kaip pavyzdį paimti pagrindinio lygio HFE-347 (C3H₃F₇O):
Virimo temperatūra 56,2 laipsniai ; aukštas garų slėgis kambario temperatūroje, kad greitai išdžiūtų be vandens-ženklo-
Paviršiaus įtempis tik 16,4 mN m⁻¹, prasiskverbiantis į 10 nm griovius ir "pakeliantis" daleles bei fotorezisto fragmentus
Dielektrinis stipris 40 kV, leidžiantis valyti-įrankį be vartų-oksido gedimo
Nėra pliūpsnio taško, nulinės sprogimo ribos, iš karto sumažina nuostabų gaisro{0}}pavojaus laipsnį
Puikus medžiagų suderinamumas
Nulinė korozija ant Cu, Al, Ti, Ta, Ni, SnAg lydmetalių, mažo-k dielektrikų, PI, LCP, FR-4; didelis selektyvumas PR, BARC, SiO₂, Si₃N4 įrenginių struktūroms lieka nepažeistos.
Reguliavimo ir EKO{0}}draugiškas
ODP=0, GWP ≈ 540, tarnavimo laikas atmosferoje < 1 metai, atitinka ES LOJ, RoHS, REACH ir Kinijos ODS-pakaitinį veiksmų planą. Panaudotą skystį galima distiliuoti ir perdirbti > 10 kartų, todėl bendrosios nuosavybės sąnaudos (TCO) sumažinamos 15–25%.
Puikus specifinių teršalų valymo efektyvumas
Nors HFE nėra universalūs tirpikliai visoms organinėms medžiagoms, jie yra labai veiksmingi tikslinėms reikmėms:
Puikiai tinka perfluorintų tepalų ir tepalų šalinimui: jie yra pasirinktas tirpiklis šalinant perfluorpolieterio (PFPE) ir Krytox™{0}} tipo tepalus, naudojamus vakuuminiuose sandarikliuose, vožtuvuose ir puslaidininkių gamybos įrankių robotikoje.
Veiksmingi srauto likučiams ir joniniams teršalams: sudaryti su stabilizatoriais arba ko{0}}tirpikliais, jie gali pašalinti litavimo srautus ir kietųjų dalelių užterštumą be vandens.
Tikslus džiovinimas be likučių
HFE turi unikalų savybių derinį, leidžiantį tobulai išdžiūti:
Mažas paviršiaus įtempimas ir didelis drėgnumas: jie prasiskverbia į sudėtingą geometriją ir po žemai{0}}stovinčiais komponentais.
Didelis lakumas: jie visiškai ir greitai išgaruoja, nepalikdami vandens dėmių ar joninių likučių, o tai labai svarbu gaminant didelį{0}}našumą.
Proceso efektyvumas ir universalumas
HFE įgalina lanksčius ir efektyvius valymo būdus:
Suderinamumas su riebalų šalinimu garais: dėl jų lakumo ir stabilumo jie idealiai tinka šiuolaikiniams uždariems garų riebalų šalinimo įrenginiams, kurie yra veiksmingi tirpikliai- ir puikiai valo sudėtingas dalis.
Valymas ko-tirpikliu „Zip“: azeotropiniai arba neazeotropiniai mišiniai su alkoholiais (pvz., IPA) arba angliavandeniliais pirmiausia gali ištirpinti polinius / organinius teršalus, kuriuos vėliau nuplauna grynas HFE, palikdamas visiškai sausą, laisvą paviršių.
Suderinamumas su automatika: jų savybės leidžia integruoti į automatizuotas valymo sistemas.
Darbuotojų saugos pranašumai
Mažas toksiškumas: jų ūmus ir lėtinis toksiškumas yra mažas, poveikio ribos yra didelės (paprastai didelės slenkstinės ribinės vertės - TLV).
Malonus kvapas: skirtingai nuo daugelio agresyvių tirpiklių, jie paprastai yra švelnaus{0}}kvapo, todėl geriau priimtina darbo vietoje.
Nedegumas: pašalina gaisro ir sprogimo pavojų, susijusį su tirpikliais, pvz., IPA ar acetonu masinio valymo metu.
2. Trys pagrindiniai puslaidininkių gaminių pritaikymai
A. Plokščių{1}}lygio tikslumas valymas
Po litografijos, ėsdinimo ar implantavimo lieka organinių šiukšlių ir metalų jonų < 10 nm. Mažas HFE klampumas ir didelis įsiskverbimas sumažina tranšėjos dalelių skaičių nuo > 500 ea cm⁻² iki < 10 ea cm⁻² per 30 s; kartu su 40 kHz ultragarsu arba srove, metalo -jonų (Cu²⁺, Fe³⁺) pašalinimas > 99,9 %, suteikiant „atominį- mastelio“ paviršių tolesniam ALD arba CVD.
B. Fotorezisto pašalinimas ir pelenų likučių pašalinimas
Įprasti SPM (H2SO4/H2O2) arba aminų nuėmikliai korozuoja Cu/Low{0}}k; praskiestas HFE{1}}pagrindo nuėmiklis visiškai ištirpsta KrF, ArF ir EUV 60 laipsnių kampu per 5 min., neprarandant TiN kietųjų kaukių ar Cu linijų, jau tinkamų mazgams, mažesniems nei 14 nm.
C. Išplėstinė pakuotė ir mikro{1}}nelygų valymas
Susidarius TSV arba mikro-nelygumui, srautas ir lazerinis-grąžtas, likęs 5 µm aklinose angose, sukelia nepakankamo-užpildymo tuštumą ir Hi-puodo gedimus. HFE azeotropas (HFE + ko-tirpiklis + korozijos inhibitorius) purškia 25 laipsnių temperatūroje 2 min., pašalina > 98 % likučių, yra 100 % suderinamas su EMC, PI ir Cu stulpeliais, o FC-}BGA tūrio linijose pakeitė NMP ir acetoną.
3. Rinkos kraštovaizdis ir Kinijos lokalizacija
Pasaulinis: 3M Novec šeimai vis dar priklauso > 60 % akcijų, metiniai pardavimai ≈ 5 kt, pajamos ≈ 1,6 mlrd. USD; prognozuojama, kad iki 2025 m. pasieks 2,3 mlrd. USD.
Buitinė: „Haohua“, „Capchem“, „Beijing Yuji“ ir „Juhua“ atliko aukšto-grynumo (didesnis nei 99,999 %) sintezę ir distiliavimą, išlaikė SMIC, YMTC ir HiSilicon kvalifikacijas ir dabar siūlo sumažėjusį -3M pakaitalą.
Outlook: plečiantis 3D NAND, GAA-FET ir Chiplet architektūroms, mažo-paviršiaus-įtempimo, didelio-selektyvumo valiklių paklausa auga > 20 % per metus; HFE, subrendęs OAM pakaitalas, ir toliau bus naudingas.
HFE hidrofluoroeteris nėra tik „žaliasis šūkis“. Jo pritaikoma molekulinė struktūra puikiai tinka valymo galiai, medžiagų suderinamumui ir aplinkai. Tai leidžia gamintojams persekioti Moore'o dėsnį, nekainuojant ozono sluoksnio ar anglies biudžeto, ir suteikia OSAT universalų „plovimo-ir-džiovinimo, nulio- likučių“ receptą, skirtą viskam – nuo mažų iškilimų iki masyvių plokščių. Kinijoje gaminamas didelio-grynumo HFE, todėl tikslaus valymo ekologiška revoliucija dar tik prasidėjo.
Įmonėms, ieškančioms HFE hidrofluoroeterio, mūsų įmonė siūlo konkurencingas kainas, patikimą tiekimą ir techninę pagalbą. Norėdami gauti daugiau informacijos, susisiekite su mumis šiandien!
