Puslaidininkių gamyboje plokštelių valymas yra vienas iš svarbiausių žingsnių, lemiančių lustų išeigą ir našumą. Technologiniams mazgams ir toliau mažėjant, valymo procesų reikalavimai pasiekė precedento neturintį griežtumo lygį. Nors tradicinis RCA plokštelių valymas tebėra kertinis šlapio valymo-akmuo, efektyviai pašalinantis neorganinius teršalus ir daleles-, sprendžiant sudėtingas organines liekanas ir džiovinant subtilias struktūras, susiduriama su dideliais iššūkiais.
Čia didelio našumo{0}}hidrofluoroeteris (HFE) įrodo savo vertę. Kaip esminis specialus tirpiklis šiuolaikiniuose puslaidininkių valymo procesuose, HFE siūlo tikslų, ekologišką ir labai veiksmingą sprendimą. Šiame straipsnyje pabrėžiama, kaip HFE 347 gali pagerinti puslaidininkių plokštelių valymą, kuris yra galingas įprastų metodų papildymas ir atnaujinimas.
Įprasto valymo ribos ir HFE strateginis vaidmuo
Klasikinis RCA plokštelių valymo procesas pagrįstas aukštos{0}}temperatūros, didelio-grynumo vandeniniais cheminiais tirpalais (pvz., SC-1, SC-2). Nors puikiai pašalina jonus, metalinius teršalus ir daleles, šis procesas turi du būdingus apribojimus:
Ribotas veiksmingumas prieš specifinius organinius teršalus, tokius kaip fotorezisto likučiai, vakuuminių siurblių alyvos, silikoniniai tepalai ir pažangūs tepalai iš tikslių komponentų.
„Vandens“ džiovinimo iššūkis: didelis vandens paviršiaus įtempis kelia kritinį pavojų paskutinėje džiovinimo fazėje, dėl kurio dažnai subliūkšta raštas ir atsiranda vandens ženklų likučių, ypač ant didelio -krašto{1}}santykio struktūrų.
HFE 347, kaip pažangus hidrofluoroeterio tirpiklis, tiesiogiai pašalina šiuos skausmo taškus dėl savo unikalių fizikinių ir cheminių savybių, todėl yra ideali terpė „tiksliam sausam{1}}šlapiam valymui“.
Septyni pagrindiniai HFE 347 pranašumai valant plokšteles
HFE 347 integravimas į plokštelių valymo procesą suteikia šiuos pagrindinius pranašumus:
Puikus džiovinimo efektyvumas ir „nulinis{0}}defektas“.
Dėl itin mažo paviršiaus įtempimo ir didelio lakumo HFE 347 visiškai išgaruoja nepalikdamas likučių, iš esmės pašalindamas rašto griuvimą ir vandens ženklus, -to rezultatas nepasiekiamas džiovinant po-RCA valymo vandeniu.
Puikus medžiagų suderinamumas
Švelnus plokštelėms, metalams, keramikai ir daugumai polimerų, apsaugo nuo korozijos ar pažeidimų, todėl valymo procese neatsiras naujų defektų.
Tikslinė valymo galia
Dėl išskirtinio PFPE (perfluorpolieterio) vakuuminio siurblio alyvų, tepalų, tam tikrų fotorezisto likučių ir organinių dalelių tirpumo jis yra tinkamiausias tirpiklis šiems specifiniams teršalams pašalinti.
Didelis proceso lankstumas
Suderinamas su panardinimu, purškimu, riebalų šalinimu garais ir kitais plokštelių valymo būdais. Ypač tinka tikslioms dalims ir kameros komponentams valyti neprisijungus, kad teršalai nepatektų į plokšteles.
Aplinkosaugos ir saugos laikymasis
Nulinis ODP (ozono ardymo potencialas) ir žemas GWP (globalinio atšilimo potencialas), atitinkantis griežtus aplinkosaugos reikalavimus. Jo mažas toksiškumas ir ne{1}}degumas padidina naudojimo saugumą.
Azeotropų susidarymo galimybė
Gali sudaryti azeotropinius mišinius su alkoholiais (pvz., IPA), įgalinančius „vieno-veiksmo“ valymo-ir-sausą procesą: pirmiausia ištirpinkite organinius teršalus, o tada pakeiskite grynu HFE 347, kad būtų tobulas džiovinimas ir žymiai supaprastinama darbo eiga.
Sumažintas vandens ir nuotekų naudojimas
HFE 347, kaip ne{0}}vandeninis tirpiklis, sumažina priklausomybę nuo itin gryno vandens ir sumažina brangių-nuotekų valymo naštą.
HFE 347 integravimas į jūsų valymo darbo eigą
HFE 347 skirtas ne pakeisti RCA valymo procesą, bet puikiai jį papildyti:
Išankstinio{0}}valymo veiksmas: pašalinami organiniai teršalai iš plokštelių laikiklių, robotų rankų ar kamerų dalių, kad būtų išvengta kryžminio{1}}užteršimo.
Kaip valymas po-proceso: veiksmingas po litografijos, ėsdinimo ar CMP, pašalinant konkrečias organines likučius ir daleles, ypač nuo vandens{1}}jautrių struktūrų.
Kaip džiovinimo terpė: naudojama išstumiamam džiovinimui po paskutinio skalavimo vandeniu{0}}patikimas būdas apsaugoti pažangius mazgų modelius.
RCA standartinio šlapio valymo ir HFE valymo tirpikliu palyginimas
| Funkcija | RCA standartinis šlapias valymas | HFE valymas tirpikliu |
|---|---|---|
| Vidutinis | Vandeniniai cheminiai tirpalai (stiprios rūgštys, bazės, oksidatoriai) | Organinis fluoroeterio tirpiklis (ne{0}}vandeninis) |
| Pirminis mechanizmas | Stiprios cheminės reakcijos (oksidacija, kompleksavimas, ėsdinimas) | Pagrindinis Fizinis tirpimas, silpna cheminė sąveika |
| Tiksliniai teršalai | Neorganiniai teršalai (metalų jonai, dalelės), organinės liekanos | Specifiniai organiniai teršalai (tepalai, dervos, fotorezistai ir kt.) |
| Džiovinimo iššūkis | Reikšmingas iššūkis: dėl didelio vandens paviršiaus įtempimo atsiranda vandens ženklų ir rašto griūva, todėl reikia specialių džiovinimo metodų, tokių kaip IPA džiovinimas garais arba Marangoni džiovinimas. | Būdingas pranašumas: mažas paviršiaus įtempis ir didelis lakumas leidžia savaime-išdžiūti{1}} be likučių. |
| Ekologiškumas-ir sauga | Naudoja didelius kiekius didelio{0}}grynumo cheminių medžiagų ir ypač gryno vandens, todėl susidaro daug valymo nuotekų. | Paprastesnis cheminių medžiagų valdymas, nors reikia atsižvelgti į LOJ emisijas. |
Pagrindinė informacija apie HFE-347
|
Cheminis pavadinimas: |
1,1,2,2-tetrafluoretilo 2,2,2-trifluoretilo eteris |
|
CAS: |
406-78-0 |
|
MF: |
C4H3F7O |
|
MW: |
200.05 |
|
EINECS: |
609-858-6 |
|
Cheminės savybės |
|
|
Virimo temperatūra |
56,2 laipsnio |
|
tankis |
1.487 |
|
lūžio rodiklis |
1.276 |
|
Specifinis sunkumas |
1.487 |
|
CAS duomenų bazės nuoroda |
406-78-0 (CAS duomenų bazės nuoroda) |
|
EPA cheminių medžiagų registro sistema |
HFE-347pcf2 (406-78-0) |
|
Bandomieji elementai |
Specifikacijos |
|
Išvaizda |
Skaidrus bespalvis skystis |
|
Grynumas |
Didesnis arba lygus 99,5 % |
|
Vanduo |
Mažiau nei arba lygus 100 ppm |
Remiantis Moore'o dėsniu, puslaidininkinių plokštelių valymas nebėra tik nešvarumų pašalinimas,{0}}tai nanometrų{1}}masto tikslumo inžinerija. HFE 347 yra išmanus šiuolaikinių puslaidininkių gamybos iššūkių sprendimas, drėgno valymo efektyvumas derinamas su puikiu sauso apdorojimo galutiniu tašku.
Kaip patikimas HFE tiekėjas, siūlome HFE 347 išskirtinai aukšto grynumo ir konsistencijos nuo -partijos iki{2}}, todėl jūsų plokštelių valymo procesas išlieka stabilus, patikimas ir efektyvus. Nesvarbu, ar kuriate naujos-kartos lustus, ar optimizuojate gamybos linijos našumą, tai yra proceso partneris, kuriuo galite pasikliauti.
Susisiekite su mumis šiandien ir sužinokite daugiau apie HFE hidrofluoroeterį HFE347!
Mūsų adresas
1102 kambarys, C skyrius, Sinkino centras, No.25 Jiahe Road, Siming District, Xiamen, Fujan, Kinija
Telefono numeris
+86-592-5803997
El-paštas
susan@xmjuda.com
